Climber系列全自動晶圓植球整線 | |
植球精度 | ±20 |
植球能力范圍 | ≥150um |
漏球率 | ≤0.01%(正常產品無翹曲) |
最大晶圓尺寸 | 12英寸 |
最小晶圓尺寸 | 4英寸 |
晶圓厚度尺寸 | 0.1~6mm |
鋼網框架尺寸 | 650*750mm(厚度:20-40mm) |
傳輸方向 | 機械手、同進同出 |
定位方式 | 尋邊機(中轉機器人自帶) |
清洗方式(印刷) | 干擦、濕擦、真空擦、高速清洗 |
清洗方式(植球) | 植球干擦+粘輪+真空吸+離子風 |
整線功率要求 | AC:220 ±10%, 50/60Hz 4KW |
整線設備尺寸 | L2855mm*W1410mm*H1495mm(不含三色燈) |